数字技术开启“智慧造气”

　　“我们生产的电子特种气体主要应用于集成电路，对产品品质要求非常高。”近日，在浙江瑞亨电子材料有限公司，项目负责人李飞明向记者介绍，公司依托一系列数字技术的创新应用，将精益生产推向了新高度。

　　在年产6000吨高纯电子气半导体材料项目车间，一条条管道依序排开，从电解、预处理、纯化、充装再到“三废”处理，电子特种气体生产过程均由智能制造设备完成。荷兰的阀门、美国的管件、德国的生产设备、日韩的特殊装备、自主研发的核心零件……瑞亨电子整合全球装备资源，打造安全可靠的电子特气管道系统，进一步保障产品品质。

　　除了智能设备外，企业还有一个智慧中枢——中央控制指挥中心。在这里产品制造、检验分析任务被精准分配到每个工位，还可通过SIS应急系统、GDS系统等，全方位、全流程地监控生产状况和安全运行情况。一旦出现气体泄漏，气体侦测器报警并联动切断气体供应，同时负压排气可将泄漏气体抽入尾气处理装置予以净化。

　　“数字化生产不仅省时省力，而且更加精准。”李飞明解释道,过去员工进行气体检验，需要去各类车间现场一次次手工取样，储存在不同针管里，费时费力不说，还存在气体污染隐患。现在，车间里每条气体管道皆由电子仪器控制，只要轻轻按下按钮，就能打开所需检验气体的管道取样口，通过在线分析系统，迅速将精准翔实的检验结果上传到数据管理平台。

　　“有了大数据、云计算的支撑，产品开发成本降低、效率提升，研发周期大为缩短。”李飞明说，公司目前可自主生产电子级氯化氢、电子级氯气、电子级盐酸等，纯度高达99.9995%，处于国际先进水平。如此高的纯度，相当于在一个标准足球场里不能出现一个一角钱硬币那么大的杂质。很多国内企业花了数十载的时间不断尝试、不断失败，依旧没有攻克最初的容器清洗达标这一关，这也是让许多国内企业望而却步的主要原因。

　　据悉，高纯电子特种气体被誉为半导体工业的“血液”和“粮食”，是大规模集成电路、多晶硅、太阳能、光纤等先进制造业的重要原材料，决定着芯片的良率和可靠性，市场前景广阔，但长期被国外企业垄断，处于“卡脖子”状态。

　　为破解垄断危机、抢抓市场机遇，2018年，瑞亨电子瞄准了上虞发展新材料产业的决心，投资10.5亿元在杭州湾上虞经开区建设年产33000吨高纯电子材料基地。其中，一期利用新征30亩土地，新建车间、仓库等建筑，购置反应合成装置、提纯装置、精馏塔等设备，建设年产6000吨高纯电子气半导体材料项目；二期建设年产10000吨高纯电子化学品半导体材料项目。一期项目建成达产后，可实现年销售收入2.8亿元，上缴税金4000万元，利润1.6亿元。

　　今年3月底，在“五个一批”重大项目大会战启动暨一季度重大项目集中开工活动中，瑞亨电子开始投产，依托自主研发的特种气体生产技术，开启“智慧造气”新模式，为半导体产业发展“造血造粮”。

　　大“气”晚来迟，大“势”正兴起。作为国内电子特种气体行业的资深企业，瑞亨电子将抢抓机遇，扩大布局，加大国际国内两个市场开拓力度，建设成为世界一流电子特种气体综合供应商，打造电子特种气体中国制造品牌。