晶盛机电一项目入选全省首批“尖兵”研发攻关计划

　　日前，浙江省科学技术厅2022年度“尖兵”研发攻关计划第一批项目名单公布，我区浙江晶盛机电股份有限公司“12英寸单晶硅硬轴直拉生长炉研制”项目名列其中。

　　今年7月，晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出首颗12英寸硅单晶。这意味着公司在原8英寸硬轴炉的研发试制基础上，又再次向国内大硅片行业技术升级发起冲击。在这一跃升过程中，研发团队需要解决硬轴单晶炉高真空、高精度及传动过程震动消除等诸多技术难题，从而实现高稳定性的晶体生长环境，为大尺寸硅单晶体内微缺陷控制和径向均匀性的提高提供技术支撑。

　　据了解，“尖兵”研发攻关计划实行“揭榜挂帅”“赛马制”，以实现技术安全自主可控为目标，致力于解决一批关键核心技术和科技瓶颈问题，推进科技高水平自立自强，为实现社会经济高质量发展和建设共同富裕示范区提供战略支撑。今年也是“尖兵”研发攻关计划首次开展评选。